π WAKE μ§λ μ½λ λ²
WAKE μ§λλ κΈν μμ§μμ κ·Έ μκ°κ³Ό κ·Έ λ€ ν μκ° λμ μ½λ νλ©΄μ λλ€. μμμ μλλ‘ λΆλΆλ§λ€ μ€λͺ ν©λλ€.
μν μ€
맨 μ ν μ€μ΄ μμ₯ μνλ₯Ό λ§ν©λλ€: λ³΄ν΅ Β· νν¬(π) Β· λ°λ±(π) Β· λ°μ€(π¦) Β· μ€λ¦ / λ΄λ¦Ό μΆμΈ Β· κ²½κ³ . μλ²μ ν¨μ νλκ° μ νλ―λ‘ λͺ¨λ νλ©΄κ³Ό AI λΆμκ°κ° κ°μ μνλ₯Ό λ΄ λλ€.
1λΆλ΄ μ°¨νΈ
1λΆλ΄μ λ³΄μ¬ μ€λλ€. νν¬λ μ§λ΄κΈ°κ° μ΄λ € μμΌλ©΄ μμ§μμ΄ μμλκΈ° 15λΆ μ λΆν°, μλλ©΄ μ΅κ·Ό λ μκ°μ λ³΄μ¬ μ€λλ€. 30λΆ Β· 1μκ° Β· 2μκ° Β· 24μκ°μΌλ‘ λ°κΏ μ μμ΅λλ€. μ°¨νΈ μ νμλ κ΄μ°°μ€μ ν°μ μμ§μμ λλ€: WF(νν¬) Β· SQ(μ§λ΄κΈ°) Β· SH(νΈκΈ°)μ κ·Έ ν¬κΈ°(%).
κ³ λ λ
μ°¨νΈ μλ μμ λ μ λ€ μ€μ΄ μμ΅λλ€: 체결 νλ¦(CVD: λ§€μ β λ§€λ) Β· λ―Έκ²°μ μ½μ (OI) λ³ν Β· μ²μ° Β· νΈκ° κΈ°μΈκΈ°. κ°κ²©μ΄ λ΄λ¦¬λλ° OI λ μ€λ©΄ ν¬μ§μ μ΄ λ«νλ κ²μ΄κ³ , κ°κ²©μ΄ λ΄λ¦¬λλ° OI κ° λλ©΄ μ μμ΄ μμ΄λ κ²μ λλ€.
DRY
DRY λ νλ νμ΄ λ§λλ€λ λ»μ λλ€: 1μκ° μ²΄κ²° νλ¦μ΄ λλ ν¬κ² λ§μ΄λμ€κ° μλκ³ OI κ° λ λμ§ μμ΅λλ€. DRY λ‘ λ°λ νν¬λ λ°λ₯ κ·Όμ²μΈ λκ° λ§μ§λ§ λ κ·Έλ μ§λ μμ΅λλ€. μν μ€κ³Ό λ¨κ³ νκ° μ΄λ μͺ½μΈμ§ μλ € μ€λλ€.
λ¨κ³ ν
νν¬ μ€μλ μ€λ₯Έμͺ½μ λ¨κ³ νκ° λμ΅λλ€: μμ§μ μ 0, νν¬, λ¨μ΄μ§ νμ 30% Β· 50% Β· 64% Β· 80% 첫 λ°λ±, κ·Έλ¦¬κ³ λ. λ¨κ³λ§λ€ μμ κ°κ²©κ³Ό κ·Έ μ리μμ μμ§μΌ λκ΅¬κ° μ ν μμ΅λλ€. μ«μλ μμ§μμ κ³ μ κ³Ό μ μ μμ κ³μ°ν κ²μ΄μ§ μ§μμ΄ μλλλ€.
μμΌλ‘ 60λΆ
λ¨κ³ ν μλ γμμΌλ‘ 60λΆ μ λ΅γ μλ λ³Ό κ°κ²© Β· κ·Έ 쑰건 Β· μ΄λ―Έ λΏμλμ§κ° μμ΅λλ€. μ£Όλ¬Έμ λ΄μ§ μμ΅λλ€. λͺ¨λΈλ€μ΄ 무μμ κΈ°λ€λ¦¬λμ§ λ³΄μ¬ μ€λλ€.
μ μͺ½ μ리
ν μ€μ΄ μ ν΄μ§ κ·μΉμ΄ μλ λ μ리λ₯Ό λ³΄μ¬ μ€λλ€: νν¬λ‘ λ°λ μ μλ κ°μ§ μμΉ, κ·Έλ¦¬κ³ μμ΄μ λλ°λ¦΄ μ μλ μ§λ΄κΈ°. λ μ€ νλκ° κ±Έλ¦¬λ©΄ κΈμ μμ΄ λ°λλλ€. κ·Έλ¦Όμ λκ΅¬λ‘ κΈ°λ‘λ§ νκ³ , μ΄κ²μΌλ‘ μ£Όλ¬Ένμ§ μμ΅λλ€.
μ°λ λ²
μμμλΆν° μ½μ΅λλ€: μν β μ°¨νΈμ νμ β λ . κ°κ²©κ³Ό OI κ° κ°μ΄ λ΄λ¦¬λ©΄ ν¬μ§μ μ΄ λ«νλ μμ§μμ λλ€. λ κ° DRY κ° λκ³ μ²« λ°λ±μ΄ 30% λ₯Ό λμΌλ©΄ λ¨κ³ νκ° λͺ¨λΈλ€μ΄ μμ§μΌ μ리λ₯Ό λ³΄μ¬ μ€λλ€. κ·Έλ€μ λΌμ΄λΈ νλ©΄μμ λͺ¨λΈλ€μ΄ μ€μ λ‘ ν μΌκ³Ό λΉκ΅ν΄ 보μΈμ.
λ°λͺ¨ κ³μ’λ₯Ό μ½λ κΈΈμ‘μ΄μ λλ€. μ‘°μΈμ΄ μλλλ€.